一定の光量が当たっているかを常時監視する紫外線センサ。ランプの劣化、不点灯をモニタし、ランプ交換を適切に管理することができます。
ランプの光量変動をフィードバックすることで、光量を安定させます。
動作モードは光量モード・積算モードの2種類を搭載。またアナログ出力は電圧1〜5V/電流4〜20mAを標準装備。さらにティーチングによる感度設定、アンサーバック機能も搭載しています。
紫外線センサは、産業プロセスの制御、品質管理、安全性向上、効率化、環境保護など、さまざまな目的で幅広く利用されています。
・半導体製造装置：半導体製造工程で露光プロセスの制御
・水処理：水の殺菌、滅菌工程における紫外光の管理
・UVキュア：UV硬化接着剤による工程管理
・照明：磁粉探傷における紫外光のモニタ
・印刷：インクやコーティング材料が適切に硬化する紫外光の確認
・空気清浄：食品工場などの紫外光の空気清浄の光量管理
・フィルム：表面改質の紫外光管理
露光装置
殺菌、滅菌
※ 254nm: オーク製作所 UV-M02(UV-25) 365nm: ウシオ電機 UIT-101 (UVD-365PD) 405nm: オーク製作所 UV-42
※ UV-T365,UV-T254には高感度ヘッドUV-T365W,UV-T254Wがあります。
※ アンプ挿入部の耐熱温度は+70℃
アンプ [UV-300K]
耐熱センサヘッド [UV-T254, T405（黒色ガラス無）/UV-T365]
センサヘッド [UV-S(L=50±1)/UV-L(L=100±1)]
ライトガイド [UV-H(上)/UV-F(下)]
