UV-351/UV-351-25

特徴

・露光機に!UVコンベアーに!1台で照度・光量、両方の測定が可能です。
・測定に適した小型で軽量、薄型ボディのハンディタイプの紫外線光量計です。
・電子回路基板用露光装置・紫外線コンベアー・各種紫外線照度装置の露光量(照射量) 管理用途に最適です。
・光量測定、照度測定、ピーク照度測定などの測定モードを選択できます。
・熱に強い堅牢なメタルボディ構造です。(MAX60℃・・・温度モニタ表示付)

仕様

測定波長領域 320~390nm
ピーク感度波長 360nm
測定光量範囲 0.1~19999.0mJ/c㎡
光量表示範囲 0.1~19999.0mJ/c㎡
測定照度範囲 0.1~100.0mJ/c㎡
使用温度範囲 0~60℃ 但し結露しないこと
電源 コイン型リチウム(連続使用300時間)
合わせ込み精度 弊社UV標準器に対して±1.5%以内
繰り返し精度 ±1.0以内
寸法 79(W)×160(D)×11(H)mm
重量 180g
付属品 減光フィルター 1/10
オプションモデル UV-351-25/UV-351-42

SD型とSN型について

SD型は古くから露光装置や照射装置等をお使いいただいているお客様に広く採用されているもので、プロセス管理の継続性を確保しています。
SD型は半導体や液晶用基板の製造プロセスの現場で、すでに他社製の照度計をお使いのお客様が、それらの計測器とのデータの互換性確保を重視される場合(露光装置でも投影型露光装置や液晶基板用の周辺露光装置にはSD型が採用されています)や、全く新規に照度計などをお使いになられるお客様に推奨しています。

SD型とSN型の指示値について

SN型は古くからのプロセスデータの互換性を確保するようにSD型の指示値(計測グループで校正用の放射源として使用している高圧水銀ランプの365nmの輝線を同一の測定条件で測定した時に示される照度の値:mW/cm2 表示)に対して39%高く表示するように調整されています。