UV-M03A

特徴

・小型・軽量のハンディタイプの紫外線照度計です。
・各種紫外線応用計測用途の要求にお答えして、紫外線照度並びに光量が手軽に測定できるようにオートレンジ機能も備えています。
・測定データをパソコンに転送して活用していただけるように、RS-232C通信出力を備えています。
・受信器は、標準でUV-35をセットしております。オプション受光器の差し換えによってUV-25、UV-42の測定が可能です。(受光器は、従来機種のUV-M02との互換性を持っています。)
・記録計用にアナログ出力を備えています。
・電源は、乾電池の他、付属のACアダプタによりAC電源も使用できます。

仕様

受光器 (交換式) UV-35(UV-SN35,UV-SD35)
波長域 310~385nm
照度・光量 0.001~50mW/c㎡
0.001~1.9999mJ/c㎡
合わせ込み精度 弊社UV標準器に対して±1.5%以内
繰り返し精度 ±1.5%以内
電源 乾電池2個 又はAC100~240V
オプション UV-25、42センサー、ES-232Cコード
減光フィルター 1/10、1/20、1/50
記録計出力 DC1000mV/フルスケール
寸法/重量 本  体 71(W)×151(D)×29(H)mm/160g
受光器 35(W)×55(D)×18(H)mm/50g

SD型とSN型について

SD型は半導体や液晶用基板の製造プロセスの現場で、すでに他社製の照度計をお使いのお客様が、それらの計測器とのデータの互換性確保を重視される場合(露光装置でも投影型露光装置や液晶基板用の周辺露光装置にはSD型が採用されています)や、全く新規に照度計などをお使いになられるお客様に推奨しています。

SD型とSN型の指示値について

SN型は古くからのプロセスデータの互換性を確保するようにSD型の指示値(計測グループで校正用の放射源として使用している高圧水銀ランプの365nmの輝線を同一の測定条件で測定した時に示される照度の値:mW/cm2 表示)に対して39%高く表示するように調整されています。