UV-M08

特徴

・小型で軽量、薄型ボディのハンディタイプの紫外線測定器です。
・露光装置・紫外線コンベアー、各種紫外線照射装置の露光量(照射量)管理用途に最適です。
・光量測定、照度測定、ピーク照度など各種データのリアルタイム測定およびメモリー機能により測定後の確認が可能です。
・オプションのワイヤレス受光器により測定データを離れた場所で確認することが可能です。
・測定データをインターフェイス機能によりパソコンに転送することが可能です。(RS-232C、USB、microSDカード)
・外部制御信号(I/O)により測定開始/停止が可能です。
・測定波長はオプション受光器の差替えによって選択可能です。(オプションケーブルにより従来型受光器の継続使用が可能です。)
・記録計用アナログ出力を備えています。
・電源は乾電池の他、付属のACアダプターが使用可能です。
・ケースは熱に強い堅牢なメタルボディ構造です。

仕様

受光器(交換式) UV-35/UV-35H(UV-SN35,UV-SD35)
波長域 310~385nm
照度 UV-35   10μW/c㎡~10W/c㎡
UV-35H 1mW/c㎡~10W/c㎡
光量 UV-35   10μJ/c㎡~19999mJ/c㎡
UV-35H 1mJ/c㎡~19999J/c㎡
合わせ込み精度 弊社UV標準器に対して±1.5%以内
繰り返し精度 ±1.5%以内
電源 単4電池2個またはACアダプター100~240V
標準付属品 UV-25、UV-42各種センサー、
受光器ケーブル、通信ケーブル
記録計出力 DC4000mV/フルスケール
寸法/重量 本 体 65(W)×111(D)×16(H)mm/160g
受光器 65(W)×35(D)×16(H)mm/60g

SD型とSN型について

SD型は古くから露光装置や照射装置等をお使いいただいているお客様に広く採用されているもので、プロセス管理の継続性を確保しています。
SD型は半導体や液晶用基板の製造プロセスの現場で、すでに他社製の照度計をお使いのお客様が、それらの計測器とのデータの互換性確保を重視される場合(露光装置でも投影型露光装置や液晶基板用の周辺露光装置にはSD型が採用されています)や、全く新規に照度計などをお使いになられるお客様に推奨しています。

SD型とSN型の指示値について

SN型は古くからのプロセスデータの互換性を確保するようにSD型の指示値(計測グループで校正用の放射源として使用している高圧水銀ランプの365nmの輝線を同一の測定条件で測定した時に示される照度の値:mW/cm2 表示)に対して39%高く表示するように調整されています。