UV-M10

特徴

・紫外線露光用制御信号を備えた紫外線光量計です。
・10チャンネルの光量設定、光量測定、照度測定タイマー設定、時間計測などのマルチ機能を備えております。
・光量測定中にも照度または時間表示に切り換えるなどの表示切り換えが可能です。
・機器組込型UV-M10-Pと卓上型UV-M10-Sの2つのタイプをご用途に応じてお選びいただけます。(写真は卓上タイプ)
・受光器は、標準でUV-35をセットしております。オプション受光器の差し換えによって、UV-25、UV-42の測定が可能です。

仕様

受光器 UV-35(UV-SN35,UV-SD35)
測定光量範囲 0.01~999.9mJ/c㎡
タイマー 0.01~999.9sec
照度 スイッチにて切換
レンジ1 0.01~10.00
レンジ2 0.1~50.0mW/c㎡
使用可能範囲 本体 0~40℃ 受光器 0~60℃
電源 AC85~264V,47~63Hz
入出力信号
(D-サブコネクター)
入力(1) リモートスタート(2) リモートストップ
リレー接点出力 (1)N.O.(スタートでON) (2)N.C (3)アラーム
合わせ込み精度 弊社UV標準器に対して±2%以内
繰り返し精度 ±1.0以内
照度計サンプルタイム 1秒
寸法 本  体 207(W)×166(D)×80(H)mm
受光器 35(W)×55(D)×18(H)mm
オプション 減光フィルター 耐熱センサーコード
受光器 UV-25、UV-42

SD型とSN型について

SD型は古くから露光装置や照射装置等をお使いいただいているお客様に広く採用されているもので、プロセス管理の継続性を確保しています。
SD型は半導体や液晶用基板の製造プロセスの現場で、すでに他社製の照度計をお使いのお客様が、それらの計測器とのデータの互換性確保を重視される場合(露光装置でも投影型露光装置や液晶基板用の周辺露光装置にはSD型が採用されています)や、全く新規に照度計などをお使いになられるお客様に推奨しています。

SD型とSN型の指示値について

SN型は古くからのプロセスデータの互換性を確保するようにSD型の指示値(計測グループで校正用の放射源として使用している高圧水銀ランプの365nmの輝線を同一の測定条件で測定した時に示される照度の値:mW/cm2 表示)に対して39%高く表示するように調整されています。